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氮化硅SiN膜上光刻后溅射钛Ti或金Au后出现光刻胶PR鼓泡...

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化学学科 精细化工

氮化硅SiN膜上光刻后溅射钛Ti或金Au后出现光刻胶PR鼓泡的情况？

SiN膜上光刻后做溅射工艺，溅射Ti或Au后出现光刻胶PR鼓泡的情况，朋友门有遇到这种问题的吗？ 显示全部
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七巷公子
2人参与回答
一闪一闪亮晶
，总工程师（研发） 2019-01-18回答
溅射温度高所以起泡，正常不影响剥离

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想逃
，机修 2019-01-18回答
溅射温度高，可以降低沉积温度；轰击能量高，试着降低沉积功率；
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