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su-8光刻胶做微流控芯片 显影有问题

曝光后后烘65℃ 10min,95℃ 30min,显影时发现不到三分钟就行液体进入硅片和光刻胶中间一样,腔室下有水波纹,周围还没有冲掉的情况下,腔室就开始慢慢脱落

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