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TCS合成炉的HCL和硅粉量怎么调节才能达到最优配置?

TCS合成炉的HCL和硅粉量怎么调节才能达到最优配置？是按照比例吗？但是有时间感觉在调的过程中挺不对劲，具体什么情况也说不清楚。 显示全部
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娇羞
2人参与回答
丧偶
，工艺专业主任 2018-08-03回答
呵呵，这个你根据方程式看看啊，保重hcl过量就好了，另外进床的hcl压力大点比较好，产量会高些，硫化效果好
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橘子清茶
，DMC、PC操作工 2018-08-03回答
考虑参数有点多哦，温度，压力，氯化氢流量，沸腾床层高度，沉降速度，配比...
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