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三甲基硅基重氮甲烷是一种(CH3)3SiCHN2的重氮化合物，被广泛应用于化学试剂中，替代重氮甲烷的使用。
三甲基硅基重氮甲烷是一种商业市售试剂，常用于有机化学中的甲基化试剂。它可用于羧酸的甲酯化反应中，以替代较易爆炸的重氮甲烷；还可与醇类发生反应以制备甲醚。
它还被广泛应用于气相色谱法-质谱联用分析技术，用于分析检测多种天然的羧酸化合物。
虽然三甲基硅基重氮甲烷的爆炸性比重氮甲烷弱，但具有一定毒性。吸入三甲基硅烷化重氮甲烷可能导致肺部水肿等症状，甚至致命。已有相关死亡案例与吸入三甲基硅烷化重氮甲烷有关。
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