工艺技术

求多晶硅还原炉的设计步骤？

想设计一个多晶硅的还原炉，但不知道如何下手，如何确定还原炉的高度，尺寸，进料量，还有，能量和物料衡算怎么做呢，化工工艺设计手册上好像没有关于还原炉的部分啊。求高人指点。（注：还原炉内硅棒对数已知）显示全部

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她选择了时间

18人参与回答

爱你不过三个

，设备维修 2018-05-23回答

我这里有还原炉强度计算书，可以的话大家一起学习。多晶硅对棒数及高度确定之后，还原炉的外形尺寸基本上就定型了。至于物料衡算及能量衡算方面，无非是确定各进出管口的大小及冷却水的用量。计算书里面没有涉及到加工工艺，还原炉在加工制作过程是关键；另外也有一整套的还原炉图纸。

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深林有鹿。梦

，化工研发 2018-05-23回答

回复 2# 287794392 恩，其它参数知道一些，但是不知道依据什么步骤开始做，有点无从下手的感觉，不像传统的塔设备设计，也有案例参考啊

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十年醉一梦

，销售 2018-05-23回答

回复 15# zxueluo 兄弟你好，我想请教一下，在进行完物料和能量衡算以后怎么确定还原炉的尺寸呢？能不能把你的还原炉计算手册发给我一份学习一下，我邮箱 wangenjunlulu ，我这有些其它资料，化工单元操作手册什么的，你需要什么我也可以发给你，大家共享一下嘛，谢谢啦！

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温文尔雅

，设备维修 2018-05-23回答

经过这阵各位朋友的指点，已经初步解决了还原炉物料衡算和能量衡算的问题，在此谢谢大家的帮助！

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喵颜

，水性漆工程师 2018-05-23回答

回复 8# 明日的记忆 1、反应器的体积不需要减加热器的体积。 2、用尾气出口流量根据反应式算硅的沉积速率，这也只是一个即时速率；用反应后硅棒的重量或者粗细除以反应时间这是平均沉积速率，当然不一样，国内一般都是用后者来表征。

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时岫

，给排水工程师 2018-05-23回答

回复 15# zxueluo 朋友你好，我还想问问，就是我根据还原炉进出口物料的质量流量怎么来进行能量衡算呢，反应太多了，我想通过每个反应的的反应热来计算反应的总热量，然后再确定冷却水的用量，可是我不知道每个反应占多少比例啊，还请你指点迷津~

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薄荷冰糖，呵

，销售 2018-05-23回答

回复 3# ymlgx 谢谢啦，本来一点眉目也没有的，听你指点一下，至少可以知道该从哪方面下手了，都是关键的步骤啊，感激啊，再有问题还望多多指教！

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森林伊人。

，销售 2018-05-23回答

回复 13# 明日的记忆是啊。。。希望多晶硅的前途越来越光明。。。

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奇葩撞怪咖

，软件工程师 2018-05-23回答

回复 15# zxueluo 朋友你好，能不能把还原炉设计书的资料给我发一份，我的邮箱是 wangenjunlulu ，感激不尽！

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爱我别走那行

，设备工程师 2018-05-23回答

回复 10# chemic 朋友你好，我的邮箱是 wangenjunlulu ，麻烦发我邮箱里，感激不尽！

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·陪伴者

，销售 2018-05-23回答

我的邮箱 chemic 可以提供

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挥之不去

，设备维修 2018-05-23回答

回复 3# ymlgx 你好，我还想请教一下，反应器的体积需不需要减去初始发热器占的体积，还有，我大概用各组分进出口流量算了一下，都用的平均值，得到硅的沉积速度与按单炉产量算出来的沉积速度有很大的出入，请问这个怎么处理，麻烦了！

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回眸一笑.

，工艺专业主任 2018-05-23回答

回复 3# ymlgx 朋友你好，请教你一下，还原炉的物料和能量衡算我都算完了，现在就是确定还原炉尺寸了，还有进出口的气速，请问这个应该从哪方面下手，有没有相关书籍或资料参考，请指点一下，感激不尽！

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简单又爱笑

，销售 2018-05-23回答

对数确定也没用的啊，还原炉的其他的参数你起码知道吧，要不你设计出来也没人用，你不是设计院，整个流程你可以控制，设备设计就是一个节点，人家需要怎么样的结构，需要设备所达到的生产能力，工艺所要求的

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情话.情愿.

，设备工程师 2018-05-23回答

回复 11# 明日的记忆你好，我接下来也要搞还原炉的课题了，手里没有什么资料，不知道你能不能给提供以下你现在参考的东西呢？谢谢邮箱 zf870303

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sprt.

，设备工程师 2018-05-23回答

这个是技术问题，最好与设计院商讨可能效果更好！

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喵颜

，水性漆工程师 2018-05-23回答

回复 6# cammy166 恩，我找了很多地方也没有相关的资料，就是想练练手，算是了解一下还原炉的工艺，自己也是刚接触，感觉很困难。

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遥闻深巷近听

，结构工程师 2018-05-23回答

给你提个醒：还原炉尺寸决定反应物料的体积，反应物料的体积可以根据pv=nrt计算，p、n、t问问学工艺的都知道物料衡算，就看你们单周期要产多少多晶硅，根据转化率和反应式算算物料的各个组分含量能量衡算，找反应热和焓值吧，查查数据，再计算

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