多晶硅爆米花状问题分析探讨？

温度太高，气体比例不合适。显示全部

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故事还有他

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小傲娇

，生产管理人员 2018-08-03回答

那是因为温度分布不均匀，加上气流速度过大。解决方案主要两点;一是改善进气方式，二是控制进气流量。说起来简单，做起来比较难！

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四驹

，给排水工程师 2018-08-03回答

其实深层次原因也就那么几条...这里也都做过讨论重要的是怎么改进... 很好奇老外是怎么做的..............可惜没有机会见识一下...

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盖世英雄的小

，化工研发 2018-08-03回答

加大喷速应该要好一些

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温柔一刀

，设备工程师 2018-08-03回答

只有在生长后期才会出现，可能是生长速度太快，增大流量时气体分布不均匀引起的

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寒酸

，销售 2018-08-03回答

爆米花问题，由于温度太高生长速度太快，在横梁上形成的突起，也有可能是温度太低形成的不定形硅

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猫七姑娘

，化工主管 2018-08-03回答

目前国内很多企业多晶硅产品都多少存在爆米花状的产品（特别是在横梁搭接处），原因可能有很多，请大家积极发表意见，分析分析。

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