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三氯硅烷是一种无色挥发性液体，具有刺鼻气味。加热时会分解，产生有毒、腐蚀性的氯化氢烟雾。它与水、强氧化剂、强酸和碱类发生剧烈反应，生成氯化氢。在存在水的情况下，它还能腐蚀许多金属。由于其蒸汽比空气重，可能沿地面流动，导致远处着火。
三氯硅烷是一种无色有刺激腥臭味的液体。它可以溶于二硫化碳、四氯化碳、氯仿、苯等溶剂。在空气中易燃且有毒。
它可以与烯烃发生加成反应，例如与乙烯反应得到三氯硅乙烷。
三氯硅烷可以通过干燥的硅粉与干燥氯化氢气体在高温下反应制备。生成的粗三氯氢硅经过分离和冷凝处理得到成品。另外，还可以利用硅铁和HCl的反应来制备。
三氯硅烷是有机硅化合物的重要原料，也是生产多晶硅的基本原料。在有机合成中，它还可以用于将非末端烯烃转化为末端烯烃。
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