氯硅烷废料的处理？

多晶硅生产过程中，有些氯硅烷无法处理，比如二氯二氢硅，金属杂质含量较高的三氯氢硅和四氯化硅，只能走尾气淋洗系统或是外卖；这样比较浪费。听说气相法白炭黑可以用氯硅烷做原料，不知道处理多晶硅产生的副产物是否可行。国内各家多晶硅企业有一些已经做得不错了吧？有没有专门提供白炭黑项目一条龙服务比较好的单位？显示全部

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柠萌薄咊

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犹存

，仪表管理 2018-05-25回答

可以做，但是白炭黑的市场容量对于多晶硅副产氯硅烷来说简直就是杯水车薪

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氯硅烷

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