工艺技术

还原炉混合气量和挥发器混合气配比？

小弟刚接触多晶硅行业不久，希望各位前辈能够指点下还原炉混合气量和挥发器混合气配比是如何计算的，小弟在此谢谢大家了! 显示全部

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淡盐淡水

10人参与回答

小九九

，品质工程师 2018-05-25回答

根据你挥发气的压力以及你们假定需要的配比来计算出进料需要的各自物料的量（氢气、tcs）。当然还要考虑打气压。p(tcs)/p挥发器=n(tcs)//n总，这样你可以继续推到了撒

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辞唱—

，设备工程师 2018-05-25回答

谢谢楼上的参与补充一下：我们厂的还原炉是9对帮18根硅芯的。混合气供气表一直在变，所谓的工程师也在摸索。我不知道是怎么计算的，所以想求助一下！

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你尽情哭

，化工操作 2018-05-25回答

混合气配比的控制与你的汽化器设计有关，如果是升膜汽化器就要根据tcs的分压定律来计算，如果是降膜汽化器，只需控制tcs和h2的流量就可以了。

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法拉利

，设备工程师 2018-05-25回答

论坛里面有相关帖子，自己搜索下

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温柔一刀

，设备工程师 2018-05-25回答

还原炉的混合气量直接跟厂家的设计挂钩了，你们采购的人肯定知道，挥发器的配比从开炉初期到停炉都在不断变化，因生产而变，不过大概在（2.5~10）：1，仅供参考。

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橘子果酱

，设备工程师 2018-05-25回答

这个我怎么没找到呢

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好感

，化工研发 2018-05-25回答

炉子小了不划算的

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孤城病女.孤街

，给排水工程师 2018-05-25回答

根据汽化器出口温度下tcs的饱和蒸汽压与总压力之比来计算

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薄荷冰糖，呵

，销售 2018-05-25回答

进气方式设计不一样,公式就不一样的.要知道你的进气前端混合方式才可以而且一般进气表都属于操作参数,要求保密的

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听众

，给排水工程师 2018-05-25回答

在试车的时候可以氢气与tcs配比大一点吧，以后慢慢摸索就好了

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