硅烷中的硼、磷杂质怎么去除？

敢问大家，我们一般了解的都是多晶硅中的硼、磷是怎么去除的，那么在硅烷气体中有没有方法去除硼、磷杂质呢？谢谢显示全部

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shallow.

4人参与回答

极简

，设备工程师 2018-08-03回答

不知道你问的是除去什么相态中的杂质。现阶段多晶硅中的b、p杂质是不能除去的；硅烷气体中的杂质可以通过吸附的方法除去，如活性炭等。液态氯硅烷通过加压精馏可以除去b、p杂质……

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笙婳

，设备维修 2018-08-03回答

硅烷中的p、b应该都是以bh3和ph3的形式存在的吧！用吸附的方法可以去除ma?精馏是个怎么原理啊

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书生

，工艺专业主任 2018-08-03回答

硅烷中的硼烷实际上为**即b2h6，磷烷为磷化氢即ph3,去除的方法很多，包括吸附法，冷冻吸附、精馏、络合等等，都可以除去。

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野心.

，招聘顾问 2018-08-03回答

楼上的，应该多以bcl3和pcl3的形式存在吧，利用沸点差来去除，但并不能去除其他b，p杂质，需要用湿氮法来去除它

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