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氮化硅（SiNx）刻蚀？

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化学学科

氮化硅（SiNx）刻蚀？

ICP腔室刻蚀Si后，刻蚀SiNx的plasma不能正常工作。

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宠溺
4人参与回答
娇宠知恩
，设备维修 2020-11-01回答
不能正常工作是不能启辉，还是反射功率过大，还是刻蚀工艺漂了?

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双木.耳东.
，设备工程师 2020-11-01回答
您好，我在淄博做氮化硅的，想做刻蚀，能去您那边吗

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木樨当归
，研发员 2020-11-01回答
有残留物没清干净吧

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仙子上仙
，工艺员/技术员 2020-11-01回答
不能工作指的什么，你应该描述出来

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