我想原因可能会有几点 1，窥视镜的冷介量通的较少致使周围温度很低而导致有硅油出现，因为硅油一般是出现在温度低于300度的一些死角的 2，窥视孔的氢气通入量较少，从而导致在窥视孔的氢气三氯氢硅配比量较小，最后生成少量无定形硅生成，而当减少三氯氢硅的通入量时候就避免了无定形硅的产生 3，还有一种我觉得一般是不可能的，就是氢气的纯度不能够达标，含氧量较高在进入炉体内发生氧化产生黑烟 4，还有一种也不太可能，就是窥视孔有漏点，有十分少量的空气进入炉体，这个就比较麻烦，必须马上停炉检修了 总之出现这种情况一定要考虑的方方面面的，然后各个击破排除，最后解决问题 不知道我的回答你满意不？