多晶硅生产过程中磷杂质的分析方法？

回复 1# kuangpu 可以用低温傅里叶！显示全部

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一个爱上马的

6人参与回答

忘穿秋水青春

，工艺专业主任 2018-05-17回答

多是用气相摄谱仪

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南墨.

，分析员 2018-05-17回答

北京一位叫赵振庚的老专家自己制造的一套仪器分析挺不错的

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极简

，设备工程师 2018-05-17回答

各位高人，请问在多晶硅生产过程中原料中的磷分析是采用什么手段进行准确分析的呢。

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半夏暖阳.半夏

，给排水工程师 2018-05-17回答

我觉得低温傅里叶是用来检测碳氧含量的，icp-ms,icp-oes，gc可以用来检测磷含量。

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肆

，设备工程师 2018-05-17回答

不知道上面回答对不对，不足之处还希望大家多多指教。

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哪里都是你

，设备维修 2018-05-17回答

对应的等级有不同的分析方法。有色谱法和光谱法还有质谱法等等

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