同意 三楼的说法。应该是 由于电阻造成的温度高

这种腐蚀怎么进行的呢？如果说是腐蚀掉一些，同时又生长更快 ，不也是矛盾的吗 温度提高，生长更快，但同时会发生腐蚀，其实也并不矛盾，因为温度不是越高越好，在一定范围内，沉积速率肯定是比腐蚀速率大得多

只需要看一下非晶、多晶和单晶的生成条件就可以了解了，非晶是最不完美的晶体，因此所需条件是最低的，而它 ... 你的解释非常赞同！如果说高温形成缺陷的话，那就等于说所有高质量的结晶过程都要温度越低越好，那整个晶体学都倒掉了！大家要生长完美晶体不是研究如何升温、保温而是研究如何获得低温啦，多晶硅生产也就不存在什么能耗了，大家就在冬天生产多晶硅好了！另一位仁兄好有想象力啊，哈哈。

温度高是重要一点，另外，料不均匀，在横梁下不分布不均匀。 温度我们可以适当的控制，对于每一相的温度是一样的，但电流应该有分别。然而，料的均匀度就是还原炉的设计所能控制的了！

互相学习一下而已 不知道有没有人能深入讨论一下横梁附近物料的分布、返混等等情况对硅棒生长的具体影响

其他地方都长的不错就横梁下部有些菜花，请教下原因和解决方案

10楼，突点的温度会更高吗？我倒觉得突点可能电流不能到达，温度可能会低些呀 突出的部位温度是会高的，这个是物理学上提到的...电流不是什么宏观物质，不能那样来理解

横梁上面的进气量是会很少了吧！！如果说温度过高的话沉积速度会变快 但是由于进气量的限制 会形成亮点温度太高了的话有可能会熔断横梁

目前红外测温仪也不能准确的测出温度的实际值，如何有效的判断温度是否过高

问个低级但又难回答的问题：为什么温度高就形成菜花状呢?多高算过高呢？ 这个问题很复杂，现在也没有确切的理论形成.... 理论上来说，如果表面超过1100°c就可以叫做过高了，但是实际生产控制不了这么精确，超过这一温度是常有的 而超过这个温度后，一方面，表面的沉积可能不均匀，形成了很多细小的“突点”，另一方面，温度高，沉积速率变快，而“突点”部位温度更高，沉积速率更快，最终长成了大块........... 当然，这只是一种简单的，可能的解释而已...........

只需要看一下非晶、多晶和单晶的生成条件就可以了解了，非晶是最不完美的晶体，因此所需条件是最低的，而它所需的温度也最低，多晶是较完美的晶体，条件较高，所需的温度高一些，我们现在要求温度低于1100度并不是因为温度更高后长不成多晶，而是因为温度过高发生硅的腐蚀以及熔芯等等一系列问题，事实上在起炉的时候，温度本来就在1100度以上，因为刚开始的时候棒细，不存在熔芯的问题，并且希望硅芯表面腐蚀掉一点，因为表面可能不洁净，另外在开始的时候希望沉积速率快，因此要更高温度，但是如果将你的假设，即温度高生成的晶体有缺陷放在这里，则无法正确解释起炉时将温度调高，因为如果温度高产生了有缺陷的晶体，而又是在起炉时发生，则之后长出的硅棒必然是从中心开始就具有缺陷，显然，这种结论是不正确的

我觉得温度高的话，不是导致沉积不均匀，而是导致了晶格形成上的缺陷，随着沉积的不断进行便从宏观上得到了表现，最终让我们看到了没规则的菜花状

物料的均匀问题需要做模拟.............不过还原炉内情况太复杂，如果不是非常精通cfd的话，恐怕做出来的结果也没有什么可信度.........如果有比较可靠的模拟结果，可以对进料入口进行改进，以求达到更好的物料分布 btw，fluent实在太难学了........我自己看了一下教程，实在是学不下去....唉....................

从非晶、多晶和单晶形成的过程来说，应该是温度越高越有利于生成完美的晶格的，非晶经过高温区熔处理后会变成多晶，同理也适用于多晶向单晶的转化，由此推测，应该不会是温度高造成了晶格缺陷........

原因 长菜花 温度高了（横梁夹角还有两个硅棒的辐射热较难散去） 解决 适当调低温度 主要就是使横梁下部温度降低

问个低级但又难回答的问题：为什么温度高就形成菜花状呢?多高算过高呢？

这种腐蚀怎么进行的呢？如果说是腐蚀掉一些，同时又生长更快 ，不也是矛盾的吗

温度越高越有利于生成完美的晶格的可有理论依据呢 我觉得不是这样

10楼，突点的温度会更高吗？我倒觉得突点可能电流不能到达，温度可能会低些呀

楼上分析相当精辟，受教了

楼上说温度高是造成爆米花的主要原因，是正确的，但是温度高的原因并没有说正确，横梁连接处的温度是最高的，这个原因不是热量辐射不出去造成的，而是在连接处，由于接触不紧密，局部电阻过大，分压过高，因此局部产生的温度过高，在国外已有不同的硅芯连接方式，能有效降低局部电阻，改善这一部位爆米花的现象 另外，物料的浓度也是影响因素之一，横梁下沿的物料浓度与返混程度均与其它部位有区别（具体来说，物料浓度和返混程度是如何对生长产生影响的，是否可以讨论一下），会造成局部生长速度过快，在本来平整的硅棒表面长出“突点”，这些“突点”又会造成局部温度过高，导致自由基在“突点”处沉积速度更快，最终长成了爆米花...........................