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化学气相沉积技术中的高纯金属掺杂材料（MOCVD）？

请教：用于化学气相沉积技术（CVD）和原子层沉积（ALD）中的具有挥发性的高纯金属掺杂材料可以从哪来获得呢？纯度对相关实验结果影响是怎样的呢？请从事这方面研究的牛人指导下，欢迎大家交流，谢谢！ 显示全部
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娇宠知恩
2人参与回答
橘子清茶
，DMC、PC操作工 2019-05-20回答
金属源一般都是金属有机化合物，对热稳定性和挥发性要求较高。纯度对薄膜的质量有影响。如果有不懂可以相互交流！

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空心
，化工设备专员 2019-05-20回答
你要生长金属吗

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