六氟-1,3-丁二烯是一种新型的干蚀刻气,具有优良的蚀刻性能,主要用于半导体蚀刻领域。具有较高的市场潜能,是未来高端蚀刻气市场重要产品。
关于六氟-1,3-丁二烯的制备方法,早期存在一些问题,后来进行了改进。例如,通过制备中间体三氟乙烯基溴化锌,再在金属氧化剂作用下自偶联得到六氟-1,3-丁二烯。但仍有希望对其制备方法做进一步改进。
在装有冷凝回流管的1L反应器A中加入N,N-二甲基甲酰胺、锌粉、1,2-二溴乙烷和三氟溴乙烯,经过一系列步骤得到锌试剂溶液。采用19FNMR定量,反应收率为88.4%。
在装有温度计的lL三口玻璃反应器B中进行下一步反应,最终得到六氟-1,3-丁二烯。反应总收率为65.0%。
[1]浙江省化工研究院有限公司,浙江蓝天环保高科技股份有限公司,中化蓝天集团有限公司. 一种六氟-1,3-丁二烯的制备方法:CN201510760125.9[P]. 2017-05-17.