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干式真空泵的工作原理与应用？无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。爪式泵的结构及其特点爪式泵的整机型式分为立式和卧式两种。卧式结构以英国爱德华公司开发的一级罗茨转子加上三级爪形转子的 dp80 型机械真空泵为代表 ( 见图 29) 。罗茨转子为高真空吸气级，爪形转子为压缩排气级，这样安排可以在低入口压力下得到大抽气速率。其极限压力可达 1pa 以下。这种结构的泵特点是整机重心低，各级转子与隔板之间的间隙易于调整。为了在低压下获得较大抽速，泵的罗茨吸气级要做得比爪形排气级大 50 ％。为了避免泵在粗抽期间产生组间“过压”，在罗茨及中间爪型级之间设有较大的传输空间作为压力缓冲空间。另外还可以安装级间过压安全阀以保证工作可靠。为了有助于抽除水蒸汽，在泵的排气级设置了气镇阀。泵的传动型式与罗茨真空泵相同。立式结构爪式真空泵是由德国莱宝公司首先开发制造的。图 30 为立式结构爪式泵结构简图。泵的转子轴及电机均为竖直安装，泵进气口在上面，排气口在泵下部，泵壳带有水冷套，以降低泵轴承及轴封处的温度。第一级泵腔为吸气级，其吸气容积比后面三级要大，形成级间压缩。四对转子装在二根平行轴上，轴由上下两端轴承支承，电动机倒立安装，经过渡齿轮将动力传递到转子轴上，转子轴由一对同步时限齿轮带动及调整和固定转子的相位。泵腔级与级之间有隔板，隔板上有级间气体通道。气体的进气口和排气口均开在隔板端面上，分别由两个转子端面定时开闭，具有阀门调节作用。当泵腔的一部分正在压缩气体和排气时，另一部分则打开入口，吸入气体。每一级都是气体入口在上，出口在下，与卧式泵比较，这种气流传输路线及泵结构是有利于抽除含有灰尘和带有悬浮微粒的气体，而且轴向返流小。当泵在某些生成微粒量很大，甚至反应生成腐蚀性气体的生产工艺中使用时 ( 如 pcvd 工艺中多晶硅膜的制备和半导体刻蚀等 ) ，可以通过向泵内引入清洗气体的办法解决此类工艺过程的抽气问题。引入的气体通常为惰性气体 ( 例氮气 ) 。为了使被抽除气体中的微粒在泵内传输过程中保持悬浮状态和防止它们在泵腔内沉积，则引入的清洗气体的速率 vgas 必须远大于微粒的最大自由落体速率 vterm 。这样，引入气体必须在泵腔内的吸入气体开始被压缩以前进入，另外引入的气体量应该足够大，以使 vgas 明显大于 vterm 。这意味着应该在不同级分别引入气体，而且气体的引入流量必须与各级的压力比正比，即引入气体流量应逐级增加。一般清洗气体入口开在各级泵腔端面的排气转子一侧，其入口位置应能由排气侧转子控制，即可由排气侧转子进行时控。这样可以减少泵内部级间返流，而且也减小了对吸入侧的影响。利用上述掺气原理，爪式泵可在化学工业、蒸馏、干燥工艺等生产过程中应用。例在某些 cvd 过程中反应出现的易燃易爆气体可以用这种方法来抽除。通过引入惰性气体 ( 通常为 n2 气 ) 可以将反应气体的浓度降到可燃性限制值以下。当用爪式泵抽除含化学溶剂蒸汽或气体液体混合物时，可在泵排气口设置气体冷却冷凝器，被压缩和加热的工艺气体通过排气通道进入气体冷却冷凝器内，其中的化学溶剂或液体被冷凝回收，冷却后的气体大部分被排放掉，少量所需要的处于排气压力下的冷却气体被泵重新回抽入泵腔压缩级，而位于泵腔排气级侧的冷却气体入口在压缩腔的容积减小过程开始前被打开，冷却气体连续流入压缩腔内与先前吸入的工艺气体混合直至达到排气压力。只有此过程完成后，转子才将排气口打开，将混合气体排到气体冷却冷凝器中，进行下一次循环。为防止由于泵腔内进入冷却气体而增加泵抽除的工艺气体总量，将泵与气体冷却冷凝器形成闭循环的冷却回路，泵从过程中将所需要量的冷却气体从冷却冷凝器的末端回抽入压缩腔。在以上抽气过程中，气体的压缩作用主要不是由减小泵腔的容积而是由通入冷却气体来完成的，这样可保证在某些工艺过程中产生的液气混合物或蒸汽在泵的工作条件下被抽除。德国莱宝公司对于半导体制造工艺所用的爪式泵，从工作安全和使用方便考虑配置了工作参量监测与控制系统。泵在工作中的所有相关的参量，如温度、压力、气体流量等均由仪表监控并设 cpu 接口，可采用微机控制。螺杆式无油机械真空泵螺杆式无油机械真空泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内 ( 柱形等螺距 ) 进行传输运动，但无压缩，只有螺杆最末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境 ( 如抽除含粉尘气体等 ) 等。该泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。涡旋式无油机械真空泵涡旋式无油机械真空泵是查看更多

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技术资料：重力式无阀过滤器？ 谢谢，资料太详细了。请教楼主：滤料用量的单位是吨还是m3？设备简图和设备基础图怎么看不到啊？查看更多

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这是个什么仪表? 忘记说了，找到的时候后面三根管子都是压缩空气管，有一跟接在一个高压锅的盖子上，出口还有个过滤网。那根连着高压锅盖？感觉像调压，稳压的设备查看更多

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关于双用气缸的疑惑？ 边上那个应该是气动加速器是增加气源压力和动力的！保证你阀开的速度！查看更多

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45%的氢氧化钠溶液大概多少钱? 大概在2100-2200（折百）的样子吧，这种信息很好查的，你上网查查就知道了查看更多

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催化裂化的排烟温度都是多少? 这个到是不高，我们也在200度左右，我们预热锅炉感觉热量的利用还是不怎么的好。查看更多

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加裂注水泵？ 这属于事故了，不知道内操外操怎么看的查看更多

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俺们公司也终于要升级到V7了？ 实际上关键要看一个软件的数据库的情况，只要库内数据完善，界面只是个习惯问题。查看更多

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关于分馏系统压力高塔、低塔压力不同的原因分析？ 这位朋友你是不说反了低塔的压力在5.5公斤左右而高塔的压力在3公斤左右查看更多

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甲醇精馏问题？联动试车是用水来运转的。一方面要通过水运转将系统的脏东西带出来，另一方面是检验各仪表、连锁是否能正常动作，还有就是锻炼员工的操作水平，运转前的大练兵。查看更多

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二氧化硫主风机连接采用以下哪种方式? 我们单位12万吨硫酸用的是2号查看更多

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once-thru如何翻译？ once-thru 一次通过式查看更多

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消氢热处理的问题？消氢处理的温度一般为300~350℃，焊后立即执行，可保温2~6h后冷却。消氢处理的主要目的是使焊缝金属中的扩散氢迅速逸出，降低焊缝及热影响区的含氢量，防止产生裂纹。如果焊后立即进行焊后热处理，可免做，但是一台设备好多焊缝。一般采用火烤或电加热带查看更多

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做泵选型需要10%的石灰乳溶液粘度，请哪位老师提供下啊？回复 1# vcxz14 您好!没有您说的那么复杂,告诉我基本情况就行了,一个电厂的石灰水长期泄漏,我们轻松解决了.最新专利的特种泵,有兴趣请联系 bk650727 我们帮您选型查看更多

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水泵吸程大会不会增大电机的功率？ 265a，这值也超过了132kw的电机额定电流了啊，如果只是功率不够，那换了应该也不行的说。是不是你们安装操作使用问题啊……查看更多

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Q235B钢板不可以用来制作第Ⅲ类压力容器。？ ⅲ类容器肯定设计压力超1.6mpa，低压ⅲ类容器的设计压力不是小于1.6mpa吗？好吧确实这句话不严谨，看固容规图表吧，一般压力都不会超1.6，要是划上三类容积就很大了查看更多

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板式塔的构造？ 要是脱二氧化碳的mdea怎么个原理呢？查看更多

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8管程的管壳式换热器用垫片采用什么标准？ 垫片的主要目的是保证与介质匹配的密封性，只要达到这个效果就行了，那么麻烦干什么？查看更多

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为什么5000L的反应釜内径都是1750mm呢？ 这个搪玻璃的基本尺寸是一致的，不锈钢和其它材质的做成什么尺寸的要看工艺要求，不是绝对的，查看更多

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DO输出的问题? 好资料，就是有权限下载不了，能不能发我邮箱 510104832 ，谢谢啦查看更多

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简介

职业：宁波大通永维机电工程有限公司 - 销售

学校：山东电子职业技术学院 - 自动化工程系

地区：江苏省

个人简介：知识是从劳动中得来的，任何成就都是刻苦劳动的结晶。查看更多

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