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磁控溅射靶碎了？

用了一年的靶，刚开始与铜底座之间的胶偶尔溢出来，后来开始出现裂痕，现在已经成了这个样子，而且每次溅射后靶都会变黑，都用砂纸打磨之后才用的，请问这样子了还可以用吗？是什么原因造成的呢？一直都用的好好的，这几个月就出现这种情况了




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°黎薄丶°葑薄
2人参与回答
挚画扇抒画卷
，班长 2019-08-10回答
内应力过大造成的

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锦然锦梦
，设备工程师 2019-08-10回答
什么靶材，功率太大了吗

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