学生讲义之一(Student Handout I)
实验介绍
本实验的目的是利用较安全的氟化氢铵(ammonium bifluoride),学生自行配製玻璃蚀刻膏(glass etching cream),设计有美感的图案(pattern),在玻璃表面上进行蚀刻(etching),然后发挥巧思以颜料妆点,创作自己独特风格的艺术化作品!如图一所示。学生还可以带回自己的作品,加以装饰美化,在家中摆设增加生活美学,这真是展现了化学实验与美感的结合。

图一 学生的玻璃蚀刻作品
近日平板电脑、智慧手机、电子书等智慧型手持电子产品引爆的流行风潮,接连攻占媒体版面,成为热卖主流,台湾的半导体产业在全球竞争中受惠崛起,交出炫目 亮丽的成绩单。这些电子产品内部最关键的零组件在製造过程中,需要在硅晶圆上定义出极细微尺寸的图案,而这些图案主要的形成方式,乃是藉由蚀刻技术,在微 影(micro-lithography)后所产生的光阻图案忠实地转印至光阻下的材质上,以形成积体电路的複杂架构。因此蚀刻技术在半导体製造过程中佔 有极重要的地位。
广义而言,所谓的蚀刻技术,包含材质整面均匀移除及图案选择性部份去除的技术。蚀刻技术中的湿式蚀刻(wet etching)係利用硝酸(nitric acid)与氢氟酸(hydrofluoric acid)的混合液来进行。此反应是先利用硝酸当氧化剂氧化材质表面的硅(silicon)成为二氧化硅(silicon dioxide),再利用氢氟酸溶解二氧化硅,以移除整面材质或选择图案,其反应如反应式[1]所示:
Si + HNO3 + 6HF → H2SiF6 + HNO2 + H2 + H2O? ? [1]
普通玻璃的成分主要为二氧化硅,由于Si-F化学键结极强,因此氢氟酸不能用玻璃盛装,否则氢氟酸与玻璃的二氧化硅反应生成四氟化硅(silicon tetrafluoride, SiF4),而导致玻璃的腐蚀,其反应如反应式[2]所示:
SiO2 + 4HF → SiF4↑ + 2H2O? ? [2]
四氟化硅易溶于水,与氢氟酸继续反应生成氟硅酸(hexafluorosilicic acid, H2SiF6),其反应如反应式[3]所示:
SiF4↑ + 2HF → H2SiF6 [3]
氟化氢铵(NH4HF2)是一些蚀刻剂的成分,它能攻击玻璃的二氧化硅,而进行玻璃的蚀刻,其反应的产物为四氟化硅和氟化铵(ammonium fluoride, NH4F),如反应式[4]所示:
SiO2 + 4NH4HF2 → SiF4 + 4NH4F + 2H2O? ? [4]
虽然氟化氢铵腐蚀玻璃的强度不如氢氟酸,但是它对使用者比较安全。本实验採用氟化氢铵当作玻璃蚀刻剂,并与草酸、硫酸铵、甘油和蒸馏水混合,加入牙膏作为填充剂,搅拌调成膏状,配製成玻璃蚀刻膏。本实验的原理係利用氟化氢铵不与塑胶材质作用,而能腐蚀玻璃的特性,来展现化学实验与美感的结合。
药品和器材
1. 氟化氢铵(Ammonium bifluoride, NH4HF2)??15 g/组
2. 草酸(Oxalic acid dihydrate, H2C2O4?2H2O)??7 g/组
3. 硫酸铵(Ammonium sulfate, (NH4)2SO4)??8 g/组
4. 甘油(Glycerol, glycerin, glycerine)??35 g/组
5. 蒸馏水??10 g/组
6. 牙膏(便宜货)??1支/组
7. 电子天平(精确度1 g即可)??1-2台/班
8. 塑胶瓶(100-500 mL)??1个/组
9. 塑胶搅拌棒??1支/组
10. 玻璃容器或玻璃片(如镜子)??1个/人
11. 吹风机??1支/组
12. 水彩笔(旧的)??1支/人
13. 塑胶贴纸??1张/人
14. 小刀??1支/人
15. 乳胶手套??1双/人
16. 压克力颜料(各种颜色)??数瓶/班
17. 塑胶盆(小型)??1个/人
18. 卫生纸??1包/班
连结:玻璃蚀刻与美感的结合(Glass Etching with Beauty)〔II〕