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硅片清洗后俩侧表面上下格栅处还有花篮印(白印)?

我在做工艺改善时候遇到热处理硅片清洗后放置在花篮里,第二天来看,发现侧边表面留下了花篮栅栏印子,该怎么解决呢?

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2人参与回答
,工艺专业主任 2020-10-31回答
花篮啥材质的?清洗后有没有甩干?
花篮是PFA,但是用PP片架试了,也会有印子,但没有PFA这么明显,片子是甩干了的

,分析员 2020-10-31回答
花篮啥材质的?清洗后有没有甩干?
 
 
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