多晶硅还原炉倒棒原因探讨论文? 多晶硅 还原炉倒棒原因探讨 柯曾鹏, 杨志国, 刘欣, 宗文婷 ( 华陆工程科技有限责任公司, 西安710054) 摘要: 多晶硅生产过程中的倒棒现象将给多晶硅生产企业带来巨大的经济损失和安全风险。 通过对多晶硅生产中还原炉倒棒现象的总结分析, 发现还原炉系统设备自身问题、硅芯质量及安 装缺陷和硅棒生长中的工艺控制不当是造成还原炉发生倒棒的主要原因, 通过优化还原系统设 备、提高安装操作水平等措施控制和预防还原炉的倒棒问题。 关键词: 多晶硅; 还原炉; 硅芯; 沉积过程; 倒棒 中图分类号: TQ127􀀁2 􀀁 􀀁 文献标识码: A 􀀁 􀀁 文章编号: 1003􀀂353X ( 2010) 10􀀂0994􀀂05 Downfallen of Polysilicon Filaments in Polycrystalline Silicon CVD Reactor Ke Zengpeng, Yang Zhiguo, Liu Xin, Zong Wenting (Hualu Engineering and Technology Co . , Ltd. , Xi􀀂 an 710054, China) Abstract: The downfallen of polysilicon filaments will bring huge loss and safety hazard to producers of polysilicon. The causes for downfallen of polysilicon filaments in polycrystalline silicon CVD reactor were analyzed. The results show that the matter of CVD reactor system, the quality and setting of polysilicon filaments and the control of the operat ion are the main factors influencing the downfallen of polysilicon filaments. According to these different causes, optimizing CVD reactor system and improving install levels are the solut ions to prevent downfallen of polysilicon filaments. Key words: polysilicon; CVD reactor; polysilicon filaments; deposit ion process; downfallen of polysilicon f ilaments EEACC: 2520 0 􀀁 引言 多晶硅是制造集成电路衬底和各种半导体器件 的单晶硅、 太阳电池 等产品的主要原料。多晶硅可 以用于制备单晶硅, 广泛用于半导体工业中, 作为 人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等器件 的基础材料。同时, 由于能源危机和环境保护的要 求, 全球正积极开发利用可再生能源。太阳能因其 清洁、安全、资源丰富而引人关注。利用太阳能的 一种主要方法就是通过光电压效应将太阳能转化为 电能, 硅太阳电池即是基于光电压效应的装置, 由 于半导体工业和太阳电池的发展, 高纯度多晶硅的 需求不断增加。 目前国际上多晶硅生产工艺主要有改良西门子 法和硅烷法, 其中70%以上采用改良西门子法[ 1] 。 改良西门子法能兼容电子级和太阳能级多晶硅的生 产, 具有技术成熟、适合产业化生产等特点, 是目 前多晶硅生产普遍采用的首选工艺技术。 西门子法通过气相沉积法生产棒状多晶硅。为 提高原料利用率和保护环境, 改良西门子法在西门 子法的基础上采用了闭环式生产工艺, 该工艺将工 业硅合成SiHCl3, 通过提纯SiHCl3 去除杂质元素, 工艺技术与材料 Process Technique andMaterials doi: 10􀀁3969/ j􀀁issn􀀁1003􀀂353x􀀁2010􀀁10􀀁011 9􀀁94􀀁 半导体技术第35 卷第10 期2010 年10 月查看更多2个回答 . 1人已关注