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多晶硅工艺流程的模拟? 关于用于氯硅烷沉积多晶硅(西门子法)过程的模拟工具polysim的介绍 多晶硅沉积过程模拟器(polycrystalline silicon deposition simulator) (有关polysim更详细的资料,可联系电子邮箱: polysim-support (英文) 或 rzuo (中文) tel. 13852946711) 软件概述: polysim™是一个设计和优化三氯硅烷多晶硅沉积反应器(西门子过程)的强大的工具。该工具面向工程师和研究人员,不需要具有计算流体动力学的专业知识。该工具独特的功能是:内置反应器化学和传热模型,结合简单和方便的图形用户界面(gui),采用类似于实际反应器操作的“生长者友好”语言,使误差减为最小,并节省用户建立模型所需的时间。 生长过程仿真包括众多的物理化学过程模型,如湍流传热传质、辐射传热、气相和表面化学反应、硅棒的电加热等。该软件采用涉及气相粒子的分解、相互作用和原始表面化学反应模型。该方法可以在广泛的操作条件下给出气固界面的化学反应过程。 polysim™用户图形界面(gui)包括所需问题的全部设定、解法控制、结果可视化。该软件使用户能够找到反应器的几乎所有特性,针对不同的操作条件和反应器设计的主要特征。它也能够对硅棒生长不同阶段的非均匀性的影响进行评价。在模拟全部生长过程时,先计算在不同的硅棒直径的一些点,然后对反应器的瞬态特性进行时间积分。解的残差可由gui可视化,使之易于控制收敛。计算的特点包括反应器的产率、每千克硅的能源消耗、硅的转换率、电流参数、气体流量、棒中心温度、生长表面的气体消耗、流动临界判据、能源消耗量。运算时间和后处理的可视化均由gui显示,显示了与输入参数和计算特性相关联的特性。 polysim™考虑由三氯硅烷在西门子过程沉积多晶硅的一维准静态近似模型。polysim™对下列现象进行模拟: ——反应器内辐射传热 硅棒假设为在反应器内均匀分布,计算出所有硅棒的辐射传热的平均值。 ——传热和包括多组分扩散的混合气体流动 用分子动力学理论,计算出在一维边界层的热导率和物种扩散系数。反应物种的扩散采用wilke近似来模拟。 ——气相化学反应 气相化学反应模拟考虑反应前体的分解和后续的反应路径。 ——表面化学反应 表面化学模拟考虑多晶硅生长过程的化学活性表面,一个准平衡模型用来描述气体和固体表面之间的质量交换。 该软件已经被国内几家主要的多晶硅企业采用或现场验证了其预测的准确性!查看更多
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在氨基上甲基化? 先上个苄基 再用碘甲烷 完了脱苄查看更多
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铁, 铝之间能焊接吗? 不可以直接焊接吧。是不是需要在钢的表面加上一层铝,然后再焊接呢。。不懂。。求指教查看更多
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1-取代烯丙基溴与格氏试剂偶联的烯丙基重排问题? 没人回答? 呵呵查看更多
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循环水池需要做防腐么? 需要的!查看更多
中温煤焦油产生的沥青有什么用途,市场价格呢? 。...中温沥青用于生产油毡、建筑物防水层、高级沥青漆和沥青焦等产品,也是沥青延迟焦化和改质沥青的原料。 沥青经过特殊处理还可用来制取针状焦和沥青炭纤维等新型炭素材料。 但是目前的价格都很低,估计在1000元/吨左右。 为什么焦油加氢要有沥青产生呢? 查看更多
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PID调节方法及注意点? 学习了。查看更多
换热器设计大赛邀您点评,版主邀您担任。? 感谢68zcw超版,把这个板块搞得这么红火,我也是抱着学习的心态,各位选手真的很棒。查看更多
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泵型号的理解? ze和za都是化工流程泵啊,这一块是老化工泵型号,现在标准多了,我感觉查一下图纸就知道查看更多
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纯碱化成液碱的办法?? 四楼说得很清楚了,你们仔细看: 纯碱在35.4℃溶解度最大,每100g水中可溶解49.7g碳酸钠 你加温到35.4℃再加温反而降低其溶解度 特别指出,纯碱不是烧碱。 [ ]查看更多
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变压吸附脱碳运行中的问题? “真空泵出口二氧化碳仅80%”说明有效气体co+h2的损失量较大,一般做到95%以上就可以了。这与你选择的变压吸附的吸附塔的多少有关系,通常吸附塔越多,均压次数越多,有效气体co+h2的损失量越小。查看更多
DP通讯问题——字节收不全 已解决? 把你的设置截图上来看一下。 谢谢你,问题已经解决,请看原文。还是非常感谢你的关注。 查看更多
谁知道管道阻力计算公式? hg/t 20570.7-95管道压力降计算查看更多
大家有乙烯装置无排放开、停车方案的资料吗? 我们装置也是0排放开停车,路穆斯工艺~ 不过,说是0排放,也会排一点,主要就是压缩岗位压力大一点查看更多
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陶瓷拉西环 规格3×3×5 怎么清洗? 我们一般都是高压清洗枪 查看更多
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捣固焦炉入炉煤细度控制在多少合适? 根据焦炭质量确定,一般主焦煤10%、肥煤20%、气煤60%、瘦煤10%,入炉煤挥发份小于34%,粘结58-72查看更多
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K系数是什么意思? 此之分应该是横河涡街,其它品牌则按其它品牌说明处理。km是流量表出厂标定时得出的系数,多接近常温水,如25摄氏度,kt是该表实际工作温度下应该设定的系数,如果实际介质和标定温度差别不大或精度要求不高,可以直接用km,否则应根据公式算出kt后设定表头。一般,最好用kt。查看更多
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世界的新药2008? 我是按楼上的操作,又发了三遍,还没有,是不是要审核呀,不玩了! 不需要审核,可能你还是没有操作正确。查看更多
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70.5釜生产装置的安全防护措施? 等到防爆膜破,安全阀起跳,再连锁dcs停,已经晚了没什么意义了,关键是反应温度,压力的连锁,最好是加强主控人员的责任心和提高业务技能,能够对釜的异常有个准确的判断,采取措施将反应压力控制在合理的范围内,聚合釜安全阀起跳可不是小事了。 [ ]查看更多
注册化工工程师考试成绩? 最快月底,如果是北京市的话。其他的则要差不多快春节了吧?查看更多
简介
职业:远东联石化(扬州)有限公司 - 设备维修
学校:河西学院 - 化学系
地区:云南省
个人简介:受过伤却依旧活的漂亮的姑娘们万万岁查看更多
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