丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA)，又称丙二醇单甲醚乙酸酯，是一种无色吸湿液体，具有特殊气味。它是一种多官能团的非公害溶剂，主要用于油墨、油漆、墨水、纺织染料、纺织油剂的溶剂，以及液晶显示器生产中的清洗剂。PGMEA溶剂易燃，高于42°C时可能形成爆炸性蒸汽/空气混合物。在光刻制程中，PGMEA溶剂是一种常用的溶剂，但其中的金属离子可能会对功能性元器件产生潜在影响，降低其性能、良率或使用寿命。

PGMEA溶剂的应用

作为一种性能优良的低毒高级工业溶剂，PGMEA溶剂具有很强的溶解能力，可溶解极性和非极性物质。在电子行业中，特别是LCD面板的制作过程中，清洗剂需要使用PGMEA溶剂，用于清洗光刻胶喷射喷嘴和涂胶容器等。废液中通常含有重金属、废元器件、颗粒杂质以及高沸胶状物和油污等杂质。考虑到经济和环保因素，对PGMEA废液进行提纯再利用具有巨大的经济价值和社会价值。

PGMEA废液的提纯方法

本发明提供了一种从PGMEA废液中提纯PGMEA的方法。PGMEA废液中主要含有PGME（丙二醇甲醚）、酮类化合物、苯类化合物、乙氧基酯类化合物、甲氧基酯类化合物、水、固体电阻、电子元器件等杂质。针对电子行业产生的PGMEA废液，首先对收集来的废溶剂进行初步过滤，然后进入原料沉降釜去除可沉降的固体杂质。沉降后的上清液进入带有真空泵的蒸馏塔，去除难以处理的低沸点和高沸点杂质。蒸馏塔产生的粗产品进入精馏塔进行进一步精馏，得到纯度大于95%的目标产品，最高纯度可达99%。处理设备主要包括过滤器、沉降釜、蒸馏塔和精馏塔。