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常用真空计的测量范围及其性能？电离真空计半导体技术天地"k-U!w!e5J"a 3I'l"T.k/L*y 电离真空计的离子流与压强关系为线性关系，规管测量上限由规管非线性不超过20％所对应的压强确定，测量下限由规管本底压强示值的10倍确定[2]。 www.2ic.cn+m4i5b7J#~ 电离计总的测量范围为10-8～102Pa，一般说来，每一种结构的规管只能覆盖一部分。 ;A o.t0{4e6G)a6k BA计收集极做成针状，它的X光本底电流小，因而下限可达10-8Pa，是一种超高真空计。它的上限为10-1Pa，灯丝是钨丝。 )W1~(^ u.Y6Q(_._#J.b&y DL-2型真空规管在上世纪50年代在我国生产，它是高真空规管，测量范围是lO-5～10-1 Pa，钨灯丝。钨灯丝在高压强易氧化而烧断，规管在10-1Pa工作寿命约1个星期。因而上限不能超过10-1 Pa。70年代研制了DL-5型中真空规管[3]。它的测量范围是10-4～10 Pa。该规管在国内首先用敷氧化钇铱丝作灯丝，可以在高压强工作。高压强规管的几何尺寸要小，以减小电子在行程中与气体分子碰撞。后来有人做出_DL-8型规管，它的几何尺寸比DL-5更小，上限可达100 Pa。热阴极电离计在压强大于10 Pa时使用不太合适。在高压强时发射电流应减小。 7o-e$?;f;`,e 上世纪80年代，用敷氧化钇铱丝代替BA计中的钨丝做出DL-7型BA计规管[4]。它的测量范围是5×lO-8～10-1 Pa，与钨丝的BA计相比，它更适合在较高压强下工作。 +x8U+q"|&e#C;r!I www.2ic.cn 同在80年代，有人将敷氧化钇铱丝代替DL-2型规管中的钨丝，做成DL-9型规管[5]，使上限压强扩展一个数量级，测量范围为10-5～1 Pa。在研究吸气剂性能时，应在小发射电流下工作，以减小电离计的吸气效应。在有害气氛下工作用小发射电流可以延长灯丝寿命。 ;q8x"W,t"E6[ 电离计的误差为[1]：10-8～10-1 Pa，△=±70％；10-5～10-1 Pa，△=土50％；10-3～10 Pa，△=±50％。半导体技术天地,B6p-B,|;{3b&S7s 单片机问世后不久，就开始用单片机控制电离真空计[6]。单片机操作代替了原电路中的调零点、调满偏、调发射、换量程等手工操作，并有诸多功能板，例如RS232串口，模拟量输出等可与计算机联机，真空计还可以用单片机设置输出信号。 8o+W6H3[-Z"G3I8d www.2ic.cn 3 热电偶真空计 !s2o3f8C+E'c0X www.2ic.cn www.2ic.cn+Q:~0[%R&Q&O-{1o#S 上世纪50年代，已有DL-3(ZJ51)型热偶规管生产，它的加热丝是铂金丝，热偶丝是康铜镍铬丝。它在定流模式的特性曲线如图2曲线2所示。上世纪80年代研制出了ZJ53B、ZJ54B等热偶真空规管[7]，它们的加热丝与热偶丝都是康铜镍铬丝，直径比DL-3型规管的丝还细，因此工作压强比DL-3型规管高。它们定流模式的特性曲线如图2曲线1所示。 7s-p I;O+~'B-\ DL-3型测量范围是10-1～60 Pa，ZJ53B、ZJ54B测量范围是10-1～400 Pa。热偶真空计误差为[8]压强小于5×102Pa时：士20％；压强不小于5×102Pa时：±50％。以上两种热电偶规管，定流工作模式最大热电偶电动势为10 mV，相当于179oC。 1x7L8`(h" &E9?#Z3P 定温式热电偶计可扩展上限，例如ZDO-150型定温式热电偶真空计测量范围是1～105 Pa[9]。 www.2ic.cn8S7J,t*y:u8k)i3z6r.x 4 电阻真空计 6H !`4}%U+e半导体,芯片,集成电路,设计,版图,芯片,制造,工艺,制程,封装,测试,wafer,chip,ic,design,eda,process,layout,package,FA,QA,diffusion,etch,photo,implant,metal,cmp,lithography,fab,fabless #u0~&R"|/~'S6L半导体,芯片,集成电路,设计,版图,芯片,制造,工艺,制程,封装,测试,wafer,chip,ic,design,eda,process,layout,package,FA,QA,diffusion,etch,photo,implant,metal,cmp,lithography,fab,fabless 电阻真空计工作模式分定压式和定温式。定压式测量范围为1～102Pa，定温式测量范围可扩展到1～105Pa。半导体,芯片,集成电路,设计,版图,芯片,制造,工艺,制程,封装,测试,wafer,chip,ic,design,eda,process,layout,package,FA,QA,diffusion,etch,photo,implant,metal,cmp,lithography,fab,fabless-V;T }+s3Z;A0`/S'A5M7l$K 图3示出ZJ52T(曲线2)和莱宝公司的TR211(曲线1)规管定温特性曲线。 "h.F*z#p,A3x!O9i www.2ic.cn 由图可见，ZJ52T在压强大于1 kPa时，误差就会很大。TR211规管在压强大于10 kPa时，误差会很大。电阻真空计工作温度高，上限压强高，但在高温工作时会影响规管的寿命，一般为110oC较合适，比热电偶真空计工作温度稍低。 /W)o:Y6G5i+R b5i G,D半导体,芯片,集成电路,设计,版图,芯片,制造,工艺,制程,封装,测试,wafer,chip,ic,design,eda,process,layout,package,FA,QA,diffusion,etch,photo,implant,metal,cmp,lithography,fab,fabless5 压敏电阻真空计 www.2ic.cn*N P3J'u8E;n+v (l(x-L8`3N7z#i+h.A 上世纪70年代凯勒公司压敏电阻传感器进入市场。80年代我国研制出用压敏电阻做成的HLP-03型低真空计[10]。测量范围是10 Pa～110 kPa。传感器在10～100 Pa之间温度漂移较严重，会给真空计带来很大的误差。压敏电阻真空计精度高，线性好，性能稳定，是结构简单、价格便宜的一种真空计。在要求测量大于100 Pa的场合下，选择压敏电阻真空计较合适，它的误差约为±25％。 'Q'b+r)R&L&a参考文献： )|3l.{-_"X 8Q3p C4L&K&R9O:T,l半导体,芯片,集成电路,设计,版图,晶圆,制造,工艺,制程,封装,测试,wafer,chip,ic,design,eda,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA,photo,etch,implant,diffustion,lithography,fab,fabless[1]JJG2022-89中华人民共和国国家计量睑定系统真空计量器具[S].1989． !_/N7w1z8N7v:r+g,k+S [2]JB／T7462-94中华人民共和国机械行业标准，热阴极电离直空规管技术条件[S].1994． 8H8L%?4G$A(y0r$f-a/h&l[3]孔庆升.热阴极中真空电离计的研究[J]．真空技术，1975．4(3):59． :_'|,a5F,U z www.2ic.cn [4]王逊，何焕玮，张宛予，孔瑞芬．DL-7(ZJ-12)型电离规管的研制[J]．真空，1983(2)：24-29．半导体技术天地(|2S Z9I#A [5]何焕玮，冯德章，程传箴．DL-9型热阴极电离真空规管[J]．真空，1985(3)：15-19． !?:^/h!Y+E&l半导体,芯片,集成电路,设计,版图,晶圆,制造,工艺,制程,封装,测试,wafer,chip,ic,design,eda,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA,photo,etch,implant,diffustion,lithography,fab,fabless[6]王逊，富文范．热阴极电离真空计的单片机控制电路[J]．真空，1988(6)：46-48． .Z/G(_:q2U9F5O5c)O.[!}0N!m www.2ic.cn [7]冶金部钢铁研究总院，北京大学无线电工厂．稳定型热偶真空规管技术鉴定证书[R]．1983． .?/b3x"S'\-{#C,H,x [8]JB／T6873～93中华人民共和国机械行业标准．热偶真空技术条件[S]． 9T#@:c7`'E5U1q!s半导体技术天地[9]钢铁研究总院．ZDO-150型定温式热偶真空计技术鉴定证书[R]．1986．半导体,芯片,集成电路,设计,版图,芯片,制造,工艺,制程,封装,测试,wafer,chip,ic,design,eda,process,layout,package,FA,QA,diffusion,etch,photo,implant,metal,cmp,lithography,fab,fabless"?.|4D(\%['C$r)F [10]北京兴华真空仪表厂真空仪表样本[Z]．查看更多 3个回答 . 3人已关注

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锅炉除盐水改软水？我公司2.8Mpa、10吨废热锅炉，原设计使用除盐水，由于长期运行在1.5Mpa以下，锅检所人员建议不必用除盐水可改用软水，先改用软水已运行两个月，会不会有问题。查看更多 2个回答 . 3人已关注

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轻烃水蒸汽法制氢转化炉检查项目有哪些? 求助如题：1、转化炉初次开工重点检查项目有哪些？ 2、现场如何具体实施？查看更多 0个回答 . 5人已关注

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GB17731-2004-T 镁合金牺牲阳极？ GB17731-2004-T 镁合金牺牲阳极查看更多 1个回答 . 5人已关注

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施工规范征集活动？在施工中你是否为查不到规范而苦恼呢，你是否为不熟悉规范而发生的种种失误呢，你是否因为规范不统一造成的施工不匹配呢为了让大家能够更好地学习、了解、查找规范，特发起此次规范征集活动，按不同的专业进行分类 1、设备施工规范 2、工艺管道 3、电气 4、仪表 5、建筑 6、材料 7、................... 望大家踊跃参与，根据大家的贡献给予相应的回报查看更多 1个回答 . 4人已关注

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改进芳纶成丝齿轮计量泵？俄罗斯改进芳纶成丝齿轮计量泵芳纶的湿法成丝需要多次循环，为了使成丝过程优化与经济合算，需要使用齿轮计量泵。它不仅向喷丝孔输送聚合液，而且控制着聚合液的输送量，以保证成丝质量。据研究，齿轮计量泵的输出误差不应超过1.5％（0.0045g/每转）。此计量泵输出方法在以往的化纤生产中延用已有70多年了，但俄罗斯对齿轮计量泵自身的改进工作做得很少。为了提高泵件的耐用性能，一般采用改换泵件材质的办法，在俄罗斯，曾有企业把计量泵全部零件改为不锈钢生产，不锈钢里含高比例的镍和铬，这样解决的问题是耐腐蚀、耐磨，但容易引起摩擦部件打滑。还有一种方法是对计量泵零件进行表面特殊涂层，美中不足的是有时使芳纶丝的物理机构性能急剧下降。俄罗斯卡明斯克化纤股份公司与另一单位合作，进行了改进芳纶成丝齿轮计量泵的科研实验工作，历时5年。计量泵壳体和摩擦齿轮件，用复合材料制成，这种复合材料中含有聚酰胺，它制成的零件有自行润滑作用，新材料的应用和计量泵结构的改革，减少了腐蚀作用，和部件之间因机械磨损而引起的偏斜，把齿轮计量泵的使用寿命提高1-2倍，芳纶成丝的质量也有改善，断裂负荷提高0.5-1倍，断头数量减少60％以上。查看更多 0个回答 . 2人已关注

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如何提纯乙烯? 求助！物流中含有甲苯甲醇少量水和乙烯，如何提纯乙烯达到工业级？能否实现呢？谢谢指教！查看更多 3个回答 . 3人已关注

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过滤盐水的钙镁含量？请大家讨论一下贵厂的过滤盐水（进树脂塔）钙镁含量大约在多少，最好是用ICP分析的数据（请注明是凯膜过滤的盐水，还是先澄清桶后机械过滤器过滤后的盐水）我厂现在的用凯膜过滤后的盐水钙镁：900~1200ppb 以前只是500ppb多现在过滤盐水板式换热器半年不到就得清洗一次，里面结垢非常严重；以前一年多才清洗一次 # + + 。查看更多 7个回答 . 2人已关注

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很好的案例？ 很好的anli查看更多 3个回答 . 1人已关注

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低压配电室和控制室可以毗邻问题？主要是怕电磁干扰，影响电信号，不过现在屏蔽和接地都做得很好，一般没事。消防控制室和中央控制室共用一个，个人感觉应该从技术上没什么问题。但是为什么要用一个呢？多影响工作啊，中间加堵墙多好啊查看更多 7个回答 . 1人已关注

#配电室

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求助下什么装置出异丁烯含量高的液化气？ 一般接触到的是丙烯 30-40 异丁烯 8-13的什么装置出异丁烯高的能介绍几个地方吗？查看更多 5个回答 . 2人已关注

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汽车水泵的保养？早期的汽车发动机并没有今天我们认为必不可少的重要附件——水泵，那时所用的液体冷却介质是纯水，顶多掺有一点木醇，以防止结冰。冷却水的循环完全依靠热对流的自然现象。冷却水自气缸体吸收热量之后，便自然地向上流动并进入散热器的上部；冷却水变冷之后，又自然地下沉到散热器的底部并进入气缸体的下部。利用这种热虹吸原理可以勉强完成冷却任务。但是不久之后，在冷却系统中增添了水泵，以便让冷却水更快速地流动。　　现代汽车发动机的冷却系统一般都采用离心式水泵。水泵最合理的安装位置是在冷却系统的底部，但是大部分的水泵是安置在冷却系统的中部，也有少数的水泵被安置在发动机顶部。安置在发动机顶部的水泵容易产生空穴现象。不管在什么位置，水泵的泵水量都很大，比如一台V8发动机的水泵泵水量，怠速时大约是750L／h，到高速时大约为12000L/h。　　从使用寿命来看，水泵设计上的最大变化是于几年前出现了陶瓷密封件，与以前所用的橡胶密封件或皮革密封件相比，陶瓷密封件更加耐磨，但是它也存在着易被冷却水中的硬质颗粒擦伤的缺点。虽然为防止水泵密封出现故障而在设计上进行了不断的改进，但是迄今还不能保证水泵的密封不出问题。一旦密封出现渗漏，那么水泵轴承的润滑就将被冲掉。故障诊断　　在过去20年里，汽车的耐久性有了很大的提高，那么水泵的使用寿命是否也比过去更长了呢？未必。今天的水泵仍然需要进行大量的更换工作，汽车大约行驶10万公里之后，水泵便随时都有出现故障的可能。　　水泵的故障诊断一般来说是比较简单的。在冷却系统出现泄漏的情况下，可以闻出热防冻液的气味，但是必须进行一番检查，查明冷却水是否是从水泵轴封处漏出的。可利用一面小镜子和灯光去查看水泵放气孔处是否漏水。要定期地进行保养，注意检查水箱冷却液的损耗。　　漏水是水泵的头号故障，噪声则是第二号故障，因轴承的擦伤而导致水泵轴咬死的现象，是非常少见的。一旦出现这种现象，风后和散热器便会受到损坏。　　虽然在资料中常常会看到介绍水泵叶轮严重腐蚀的情况，但是如果做到正常的保养，叶轮腐蚀并不是一种普遍现象。当看到冷却液发红，有铁锈色时，估计便是出现了叶轮腐蚀的问题。这时需要检查水泵冷却液的循环状况，可将散热器中的冷却液放出一部分，使水面高度正好保持在水管之上，然后预热发动机，使节温器处于全开的位置。当发动机的转速为3000r/min时，应该看到良好的水循环。另一个可能出现的问题是水泵叶轮在轴上出现了松列。故障的原因　　至于水泵出现故障的原因，有些权威人士认为是同一皮带驱动的附件越来越多，使侧向载荷过大的缘故。正如一位密封专家所说的那样：“有证据表明，同一根皮带驱动的各附件产生的谐振具有不同的频率，可以破坏水泵的密封。”水泵产生故障的另一个问题是，蛇形皮带的张紧装置对水泵施加了很大的侧向载荷。气蚀是水泵的另一个问题，一般在水泵的进水侧出现腐蚀，所以通常都安装一个低压散热器盖。更换水泵时，建议最好是安装一个新的风扇离合器，因为失去平衡的离合器有可能使水泵出现问题。　　还有的专家认为，过热和缺乏保养也是水泵产生问题的原因。如果冷却液失去了润滑密封件的能力，密封件便会被擦伤。此外，水泵出现故障，也可能由于水泵本身的质量太差。皮带的学问　　老机型一般采用普通的V形皮带，而新机型可能采用的是蛇形皮带。如果将老机型的水泵装在新机型上，就有可能出现方向上的问题。因为蛇形皮带可能与V形皮带以相反的方向驱动水泵叶轮，因而使水泵反向转动，从而导致冷却液出现过热的问题。　　现在越来越多的发动机利用项置凸轮轴的正时皮带驱动水泵，这样做的好处是水泵不旋转的话，汽车也不可能被驱动，而且可以缩短发动机的长度。必须强调指出的是，经过一段适当的时间之后，应当更换正时皮带。有时会看到这样一种情况。在安装一条新正时皮带之后很短的时间内，水泵便遭到损坏，一般这是由于增大了皮带张紧力的缘故。因此，当安装一个新水泵时，不要轻率地换用一条新皮带。水泵的保养　　这里谈谈有关冷却液的问题，以及保养的一些注意事项。在现代轿车上，常常使用热负荷较高的全铝发动机，那么每年更换一次冷却液似乎是防止出现问题的最好办法。但是，现在防冻液的配方非常先进，使冷却液的更换间隔时间正在不断延长。先是推荐冷却液更换周期为3年，后来又延长到4年，如今通用汽车公司在某些车型上推荐的是5年或25万公里。现在的冷却液配方可以避免因延长冷却液更换周斯而使冷却系统常常出现的毛病。新型冷却液具有防羧基化合物腐蚀的能力，亦即没有在普遍的乙二醇中发现的那种硅酸盐、磷酸盐和堵塞水道的无机物。虽然新型冷却液比传统的冷却液贵一些，但是它可以保证水泵长时间地正常工作，因而还是合算的。为使长寿命冷却液发挥最大作用，更换时需要彻底清洗冷却系统。　　这里再谈谈防冻液的质量问题。“防冻液”这个词是用词不当的误称，因为使用防冻液不只是为了防冻，还要求有抵抗腐蚀、润滑水泵密封和提高沸点的作用。因此不应使用品牌不详的防冻液，它可能含有不适当添加剂和有害的PH值。　　对于冷却系统泄漏问题的严重性不可低估，这不仅将使吸入的空气破坏预定的冷却液流动模式，导致热点的产生，而且还会大大加重水泵的腐蚀。　　如果冷却液的数量长期不足，则会引起发动机过热，而旦伴随着出现蒸汽腐蚀，不仅损坏散热器，还会产生其它水泵问题。查看更多 0个回答 . 1人已关注

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喷射式真空泵？循环水真空泵？你说的是不是水环真空泵，如果是的话水环真空泵是需要加过滤器的，否则工业用水中含有杂质等 ... 恩德，公司主要是感觉水不要钱 查看更多 20个回答 . 1人已关注

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净化工段DCS人员操作经验交流区？ 净化工段DCS人员操作经验交流区查看更多 4个回答 . 5人已关注

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水联运油联运？各位大侠：小弟请教：在水联运过程中，哪些系统或装置，不能参加水联运？在油联运过程中，哪些系统或装置不能参加油联运？有没有相关的规范或标准？小弟坐等回答！感谢。。。。。查看更多 2个回答 . 3人已关注

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柴油加氢汽油馏份小的原因（小于40），有什么调节方法吗 ...？ 柴油加氢汽油馏份小的原因（小于40），有什么调节方法吗？查看更多 0个回答 . 4人已关注

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超难重结晶求助?？我的产品熔点比较的低，三唑并苯环的溴，极性比较的低，几乎只不溶在水，试了很多种重结晶的方法，比如单溶剂，多溶剂等，出来的都是油，高手能否相助，谢谢！查看更多 6个回答 . 4人已关注

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关于化工料注入的问题？在裂解装置中，需要定时定量注入一些化工料，比如二甲基二硫，氨，缓蚀剂，阻聚剂，减粘剂，甲醇等等。大家一起讨论下这些化工料的型号，注入的地点，量以及各自作用的机理。查看更多 1个回答 . 3人已关注

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醇醚与煤之间的价格换算关系？ 甲醇吨成本=煤价*2.2+500元二甲醚吨成本价=甲醇吨价*1.45/0.9 以上是规模企业（60万吨甲醇、20万吨二甲醚）的成本价格，对否？请指正！查看更多 3个回答 . 3人已关注

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简介

职业：浙江中欣氟材股份有限公司 - 销售

学校：青岛大学 - 自动化工程学院

地区：安徽省

个人简介：我们的秘密还要对她隐藏多久呢查看更多

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