关于外延生长单晶硅薄膜的XRD？图在上一楼的附件里，主要问题是用JADE分析这个曲线的时候，没法匹配出结果，直接显示no match found in search,我的目标就是能说明这是硅，最大的峰也符合100晶面的情况，外延生长的硅薄膜性能良好。我查了网上类 ... 毫无疑问你获得的是硅峰，但是个人愚见，你用XRD是没办法证明外延的硅的好坏的，XRD测试是多晶，pdf对比的结果都是是对多晶而言的。你获得的100%是单晶的硅峰，但是及时你获得其他的非常小的次级峰也不能说明是外延的问题，可能是衬底本身的问题。我给你一个建议，就是对外延前和外延后的衬底都做HRXRD测试，omega或者omega-2th都可以，对比前后半高宽的变化，用衬底作为参考来说明你外延质量。同质外延一般都不会出现问题，我比较不理解你选区外延的目的，你做纳米线，纳米沟道我还能理解，整面的选区我实在不能理解，直接外延多好。还有你图里的分成两个峰不是真实的，是你测试的步长太长了造成的。查看更多
第1天
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