硅棒生长过程中的硅油问题? “硅 “硅油”是一种大分子量的硅卤化物,分子式为(sicl2)n•h2n,其中含硅25℅,呈油状的物质,这种油状物是在还原过程中低温部件上产生的(低于300℃),往往沉积在炉壁、底盘、喷口、电极及窥视孔石英片等温度相对较多处。 硅油的产生,导致大量硅化物的损失,家降低实收率;沉积在窥视孔石英片上的硅油,使镜片模糊,影响观察和测温,从而影响炉内温度的调节,甚至可以造成硅棒的温度过高而烧断。硅油具有强烈的吸水性,因而在拆炉时,硅油强烈的吸收空气中的水分同时游离出hcl而腐蚀设备,还会引起自然爆炸,给生产带来麻烦。 为了避免硅油的产生,可采用下列措施: ① 控制还原炉炉壁冷却热水温度,使炉壁温度在要求的温度内; ② 停炉前适当降低冷却水流量,提高炉壁温度使硅油挥发。查看更多