关于外延生长单晶硅薄膜的XRD?你是在硅100衬底上同质外延硅薄膜吗?把图发上来看一下,谁一下你的薄膜是什么,衬底是什么?你想分析什么参数。 图在上一楼的附件里,主要问题是用JADE分析这个曲线的时候,没法匹配出结果,直接显示no match found in search,我的目标就是能说明这是硅,最大的峰也符合100晶面的情况,外延生长的硅薄膜性能良好。我查了网上类似情况的说明,都说其他峰没出现说明外延生长择优取向好,这个说法也可以,但我目前的问题是JADE都没法证实这个是硅,当然确实是补这个数据才开始下的JADE,操作方面也许有我不知道的内容,您能帮忙指点下么?查看更多