硅棒生长过程中的硅油问题？ 操作条件非常重要，该油状物质是一种二氯聚硅烷，在较低温度时容易生成， 二氯化硅在高温是稳定的，在较低温度时生成少量的[sicl2]x,这是一种油状物质,容易与水汽反应腐蚀炉壁。由于sicl2的生成影响硅在高温时的实收率;同时因为难于达到平衡情况，使硅的沉积速度较慢，三氯氢硅氢还原法所生产的多晶棒，供区域熔炼法生产单晶硅用的硅棒直径为 50～100毫米。供直拉法生产单晶用的硅棒直径为 50～150毫米。还原尾气中的三氯氢硅和四氯化硅在-80℃以下冷凝回收。结构式如下： cl cl cl i i i ——si— —si— —si—— i i i cl cl cl查看更多
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