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多晶硅标准初稿? ICS 29.045 H 82 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 前 言 本标准是为适应我国光伏产业日益发展的需要,在修改采用 SEMI 16-1296 《 硅多晶规范 》标准的基础上,结合我国硅多晶硅生产、试验、使用的实际情况而制定的。本标准的制定能满足市场及用户对太阳能级多晶硅的质量要求。 本标准考虑了目前市场上的大部分多晶硅料,包括:硅粉、碳头料、棒状料、块状料、颗粒料等,根据不同种类的硅多晶加工、生产太阳能电池其转换率情况,将太阳能级硅多晶纯度指标分为三级。与 SEMI 16-1296 相 比增加了基体金属杂质内容。 本标准的术语与相关标准协调一致。 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。 本标准起草单位:洛阳中硅高科技有限公司、无锡尚德太阳能电力有限公司。 本标准主要起草人:杨玉安、袁金满、孙世龙、汪义川。 太阳能级多晶硅 1  范围 本标准规定了太阳能级硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输及贮存。 本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅为原料,生产的棒状多晶硅、粒状状多晶硅、包括块状多晶硅、碳头料和生产过程中的硅粉,以及采用物理提纯法提纯生产的多晶硅。产品主要用于太阳能级单晶硅棒和多晶硅锭的生产。 2  规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。 GB/T 1550 非本征半导体材料导电类型测试方法 GB/T 1552 硅、锗单晶电阻率测试 直排四探针法 GB/T 1553 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法 GB/T 4059 硅多晶气氛区熔磷检验法 GB/T 4060 硅多晶真空区熔基硼检验法 GB/T 1558 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 GB/T 1558 测定硅晶体中代位碳含量红外吸收方法 GB/T ×××× -200 × 硅多晶中基体金属杂质化学分析 电感耦合 等离子体质谱 法 GB/T 14264 半导体材料术语 ASTM F1389-00 光致荧光光谱测单晶硅中Ⅲ - Ⅴ族杂质 ASTM F1724-01 利用 原子吸收光谱 测量多晶硅表面金属杂质 3  要求 3.1  分类 产品按外型分为块状、粒状、粉状和棒状多晶硅,根据纯度的差别分为3级。 3.2  牌号 硅多晶牌号表示为: SOGPSi—□—□ 阿拉伯数字表示硅多晶等级 字母I表示棒状,N表示块状、G表示粒状、P表示粉状 表示太阳能级硅多晶 3.3  技术要求 3.3.1  棒状、块状硅 太阳能级棒状、块状多晶硅的纯度及相关技术要求应符合表1的规定。 表1 项目 太阳能级硅多晶等级 1 级品 2 级品 3 级品 N 型电阻率,Ω·cm ≥50 ≥15 ≥10 P 型电阻率,Ω·cm ≥500 ≥10 ≥10 氧浓度,at/cm3 ≤1.0×1017 ≤1.0×1017 ≤1.0×1017 碳浓度,at/cm3 ≤2.5×1016 ≤5.0×1016 ≤5.0×1016 N 型少数载流子寿命,μs ≥100 ≥50 ≥10 基体金属杂质,ppmw Fe 、Cr、Ni、Cu、Zn、Ca、Mg、Al, TMI≤0.05 Fe 、Cr、Ni、Cu、Zn、Ca、Mg、Al, TMI≤0.5 Fe 、Cr、Ni、Cu、Zn、Ca、Mg、Al,TMI≤0.5 3.3.2  粉状多晶硅 粉状多晶硅 的纯度及相关技术要求应符合表2的规定。 表2 项目 太阳能级硅多晶等级 1 级品 2 级品 P 含量,ppma ≤0.0017 ≤0.006 B 含量,ppma ≤0.0005 ≤0.027 氧浓度,at/cm3 ≤1.0×1017 ≤1.0×1017 碳浓度,at/cm3 ≤2.5×1016 ≤5.0×1016 基体金属杂质,ppmw Fe 、Cr、Ni、Cu、Zn、Ca、Mg、Al, TMI≤0.05 Fe 、Cr、Ni、Cu、Zn、Ca、Mg、Al, TMI≤0.5 3.3.3  碳头料 碳头料中的碳去除干净,可以用作太阳能铸锭和拉棒。其技术要求同表1太阳能级块状和棒状多晶硅纯度要求中的2级品。 3.3.4  粉状料 粉状料可以太阳能铸锭,其技术要求应符合表2中2级品的规定。 3.4  尺寸范围 3.4.1  破碎的块状硅多晶具有无规则的形状和随机尺寸分布,其线性尺寸最小为6mm,最大为100mm。 3.4.2  块状多晶硅的尺寸分布范围为: a) 6 ~25mm的最多占重量的15%; b) 25 ~50mm的占重量的15%~35%; c) 50 ~100mm的最少占重量的65%。 3.4.3  棒状多晶硅的直径、长度尺寸由供需双方商定。其直径允许偏差为10%。 3.5  结构及表面质量 3.5.1  块状、棒状硅多晶结构应致密。 3.5.2  多晶硅免洗或经过表面清洗,都应使其达到直接使用要求。所有多晶硅的外观应无色班、变色,无可见的污染物和氧化的外表面。 3.5.3  粒状硅的直径为1-3mm,无肉眼可见异物。 3.5.4  碳头料的碳要去除干净,不能有残留。 3.5.5  粉状多晶硅要求无肉眼可见异物。 4  测试方法 4.1  纯度及相关技术要求检验方法: 4.1.1  多晶硅导电类型检验按GB/T 1550测试。 4.1.2  多晶硅N型电阻率检验按GB/T 1550测试。 4.1.3  多晶硅P型电阻率检验按GB/T 1550测试。 4.1.4  N 型少数载流子寿命测量按GB/T 1550测试。 4.1.5  多晶硅中氧浓度测量按GB/T 1558测试。 4.1.6  多晶硅中碳浓度测量按GB/T 1558测试。 4.1.7  多晶硅断面夹层检验按GB/T 4061测试。 4.1.8  多晶硅中基体金属杂质按GB/T××××-200×测试。 4.1.9  多晶硅中的B、P 含量按照ASTM F1389-00测试。 4.1.10  多晶硅表面金属杂质按照 ASTM F1724-01测试。 4.2  尺寸 检验方法: 棒状硅多晶的尺寸用游标卡尺测量,块状硅多晶的尺寸分布范围用过筛检验,或由供需双方商定的方法检验(如单块重量法);粒状多晶硅尺寸分布可用过筛检验。 4.3  粉状多晶硅、碳头料由供需双方商定检验。 4.4  多晶硅的表面质量用肉眼检查。 5  检验规则 5.1  检查和验收 5.1.1  产品应有供方质量监督部门进行检验,保证产品质量符合本标准规定,并填写产品质量证明书。 5.1.2  需方可对收到的产品进行检验。若检验结果与本标准规定不符时,应在收到产品之日起一个月内向供方提出,由供需双方协商解决。 5.2  组批 产品应成批提交验收,每批应有同一牌号、具有相同标称纯度和特性,以类似工艺条件生产并可追溯生产条件的硅多晶或同一反应炉次的硅多晶组成。 5.3  检验项目 每批产品应进行N型电阻率、P型电阻率、少数载流子寿命、氧碳浓度、结构、表面质量和尺寸的检验,基体金属杂质进行抽检或由供需双方协商。 5.4  取样与制样 5.4.1  供方取样、制样时,对棒状硅多晶N型电阻率、P型电阻率、制样应按GB4059、GB4060 、GB4061进行,铸造块状硅多晶应在具有代表性的部位参照GB4059、GB4060取样、制样。 5.4.2  仲裁抽样方案由供需双方商定,取样部位和制样按6.4.1进行。 5.5  检验结果判定 5.5.1  多晶硅的纯度由N型电阻率、P型电阻率、氧碳浓度判定,少数载流子寿命和基体金属杂质属参考项目。 5.5.2  在判定项目中若检验结果有一项不合格,则加倍取样对该不合格的项目进行重复试验。若重复试验仍不合格,则该批产品为不合格或降级使用。 6  包装、标志、运输及贮存 6.1  包装 硅多晶免洗或经过一定方式洗净、干燥后,装入洁净的聚乙烯包装袋内,密封,然后再将包装袋装入包装箱或包装桶内。块状硅多晶包装规格为每袋净重为5000g±25g或10000g±50g。棒状硅多晶每根单独包装,并用箱子固定、封状。包装时应防止聚乙烯包装袋破损,以避免产品外来沾污,并按最佳方法提供良好保护。 6.2  标志 包装箱(桶)外应标有“小心轻放”及“防腐、防潮”字样或标志,并标明: a )需方名称; b ) 产品名称 、牌号; c )产品数量、净重; d )供方名称 6.3  质量证明书 每批产品应附有质量证明书,注明: a )供方名称; b )产品名称及牌号; c )产品批号; d )产品毛重、净重; e )各项检验结果及检验部门印记; f )本标准编号; g )出厂日期。 6.4  运输 产品在运输过程中应轻装轻卸,勿压勿挤,并采取防震措施。 6.5  贮存 产品应贮存在清洁、干燥环境中。 查看更多 2个回答 . 4人已关注
色谱柱出现奇怪的双峰,求助? 今天用 液相色谱 分析,发现实验结果全是双峰,如图所示,保留时间正常,但是色谱峰全都重叠了。请问这是怎么回事,应该怎么办?66F9D34171D2775F1DE0E50A0145B353.png查看更多 4个回答 . 5人已关注
精馏塔顶部温度? 板式 精馏塔 塔釜压力,温度,进料温度组分等都没有变化,为何加大回流比塔顶温度不下降? 查看更多 24个回答 . 4人已关注
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对于氯气钢瓶的使用安全注意事项的请教? 2# sjxwolf 谢谢楼上的帮助,我对第二种方式有过接触,但是对第一种方式总感觉似乎不太安全,起码没有达到本安。不知道各位还有没有什么见解?查看更多 5个回答 . 2人已关注
EDR 关于壳体串并联设置 求助? 我在EDR做管壳 换热器 时候,design模式下规定壳体串并联数都是1时,就无法运行,输入串并联数分别是2、3时候就可以运行,请问这是为啥呢?难道不能只做一个大换热器吗?Optimization Path 给提供的几个计算结果也都没有串并联数都是1的结果。查看更多 11个回答 . 1人已关注
石油计量工具V3.0(即将推出)? 石油计量工具V3.0 一、 软件功能及应用范围 本软件在V2.0的基础上进行完善和扩展,增加了油罐计量操作,罐区管理方面的功能。软件小巧实用,操作界面人性化,功能强大。算法符合GB/T1985-1998《石油计量表》和GB/T19779-2005《石油和液体石油产品油量计算静态计量》中的要求,实现石油产品、原油和 润滑油 中标准密度和VCF等各类计量参数的计算,覆盖浮顶罐、拱顶罐、卧罐和车罐的罐容管理,并提供盘点记录保存和报表输出功能,是石油计量辅助管理的优秀软件。 软件功能如下: 1. 生成石油产品、原油和润滑油的20℃标准表。包括59A、59B、59D、60A、60B、60D 六类表格,生成报表数据采用 Excel格式。因计算数据进位取舍关系,个别数据计算结果与GB/T1985-1998《石油计量表》中数据存在微小的误差(标密计算误差小于0.1kg/m3,VCF计算误差小于0.0001)。 2. 实现各类型石油标准密度、标准体积、视体积、商业质量的相互换算。随数据录入同步进行计算,输入完成即得计算结果,操作非常方便。同时提供15℃标准的标准密度和VCF计算功能。 3. 提供罐区计量管理功能。通过对罐区油罐设置和油罐容积导入,实现油罐计量、盘点和按油品名称分类进行报表输出的功能,对历史盘点的记录提供查询和数据导出功能,油罐区存油量一目了然。 本软件可应用于油库、 加油站 和油罐车的计量和管理。 为了确保数据的安全性,软件退出时,所有参数及记录将在软件安装目录下的HisData文件夹中进行数据备份。建议进行异地备份并妥善保管。 二、 使用说明 1. 表59A、表59B、表59D、表60A、表60B、表60D标准表输出 表59A —— 原油标准密度表 表59B —— 产品标准密度表 表59D —— 润滑油标准密度表 表60A —— 原油体积修正表 表60B —— 产品体积修正表 表60D —— 润滑油体积修正表 通过自定义密度和温度的范围、分度和生成的表格行列数要求,即可生成Excel格式的计量表。其中,分度值的意思是生成数据的步长要求。如密度范围是700至800,分度为2,那么就是按700,702,704 … 取点进行数据生成。如果设置数据点数多,数据生成过程可能耗时比较长,需要耐心等待。 软件经注册后方可使用该功能。 2. 计量工具 主要提供20℃ 标准温度时各计量数据的实时计算功能。 软件使用时需要注意正确选择石油类型,不当的选择可能导致得到不正确的计算结果。 在GB/T1985-1998中提供两种方式用于计算油品在 空气 中的质量,本软件采用的计重公式为: 。 3. 罐区管理 (1)油罐参数设置 要实现罐区计量管理的功能,首先需要对纳入软件管理的油罐参数设置进行数据录入。 在以上界面中,鼠标点击表单中相应记录,相关参数在上面进行显示,可对输入错误的数据进行“更新”,或对该油罐相关数据进行整体“删除”操作。 (2)油罐容积表维护 对于浮顶罐、拱顶罐此类大型立式油罐,容积表包含三部份,即大数表,小数表和静压力修正表,三部分数据需要分别进行导入。对于卧罐和车罐,只需要导入一个容积表即可。 在导入过程中如果操作错误,应将相应的容积表数据删除后重新导入。导入数据采用Excel格式的数据为数据源,对数据表有严格要求: l 所有高度的单位是mm,如果是dm的数据表需手工进行转换后再进行导入。 l 所有体积量的单位都是立方米。 l 作为数据源的Excel数据表中表的名字与油罐编号一致,数据表数据区域不能留有空行或空的单元格。 按以下Excel表格格式编辑罐容表后,即可使用软件的罐容表导入功能。 油罐编号为“101”的大数表 油罐编号为“101”的小数表 油罐编号为“101”的静压力修正表 (3)油罐计量 该功能实现了油罐存油量的计算和最近一次计算数据保存的功能,计算结果为罐区盘点时直接使用。 (4)盘点报表输出 通过以上数据,点击“盘点输出Excel报表”按钮生成以下Excel报表。生成报表时,软件对盘点时的数据作为历史记录进行保存。 注:以上输出数据来源于测试过程 通过该功能可直接生成油罐的盘点表,数据来源于在“油罐计量”页面中最近一次进行计算的数据。盘点报表按“油品名称”进行小计。 (5)盘点记录查询 对历史盘点记录按时间段进行查询,双击表格中相应时间的记录,可以查看历史的盘点详细数据。 鼠标双击序号为3的记录后页面如下: 此时可对查询的历史数据输出为Excel报表格式。 三、 软件注册 本软件除了生成标准表的功能外,其它功能可以免费试用80次,试用期结束后,个别功能使用将受限制。 通过软件中的 “ 帮助 ” -> “ 注册 ” 功能,根据“产品识别码”联系作者购买“注册码”。注册后软件不受使用次数和使用时间限制。“产品识别码”和“注册码”请妥善保管。 查看更多 1个回答 . 1人已关注
污水汽提侧线抽氨? 请教各位坛友: 酸性水汽提装置侧线抽氨通常采用的三级冷凝,其原理是什么?谢谢! 查看更多 0个回答 . 1人已关注
关于精馏塔的模拟? 模拟 精馏塔 时,用实际塔板数还是理论塔板数?听到各种各样的说法,把我搞糊涂了。 一般塔板的效率取多少?有没有理论塔板数的简单算法?查看更多 6个回答 . 2人已关注
鲁奇炉炉蓖图纸? 炉蓖布气孔共有134个 从上至下布气孔分布如下 直径 数量 布气率 15mm 26 10% 17mm 40 20% 18mm 32 30% 16mm 30 40%查看更多 38个回答 . 1人已关注
魏建国:未来二十年中国煤电主体地位不会改变? 本文由 盖德化工论坛转载自互联网 中国国际经济交流中心副理事长魏建国在第十二届中国国际 煤炭 大会上表示,煤电在当前和未来相当长的时期内,在中国能源电力的主体地位不会改变。 魏建国指出,中国应进一步明确煤电的战略定位,应把加快提高煤炭转换为电力的比重和电能占终端能源消费的比重,确定为解决中国能源优化利用和环境保护的重大、基础战略,尤其是20年内不可动摇。 魏建国表示,从长期来看,大力发展可再生能源发电就是中国能源和中国电力的未来,但若没有煤电在近、中期阶段作为供电安全性和稳定性的支撑和调节,可再生能源发电就没有坚实的基础,也就没有未来。 魏建国认为,对中国现阶段来说,放弃戒者忽规煤电的发展将是有害的甚至是危险的。查看更多 1个回答 . 1人已关注
SH3538垫铁正确计算方法交流? 14t的电机,4根M42地脚螺栓,按8组垫铁计算,为什么根据多个标准计算出来的结果偏差很大,SH3538计算出来的结果大于底座面积, 请有经验的高手分析交流下计算方法,或正确的计算方式,多谢! 5.2.3 每一组垫铁的最小面积,可按公式(1)近似计算。 A≥C×(Q1+Q2)×10^4/Rn………………………………………………(1) 式中: A——每一组垫铁的最小面积,mm2; C——安全系数,宜取1.5~3; Q1——机器的质量加在该垫铁组上的载荷,N; Q2——地脚螺栓拧紧后,分布在该垫铁组上的压力,可取地脚螺栓拧紧后所产生的轴向力,可按 附录A选用,N; R——基础混凝土单位面积抗压强度,可采用混凝土设计强度,MPa; n——垫铁组数。 A值计算出后,可在表2中选用比计算A值大的垫铁;当垫铁承载能力有余,而长度不够时,可选较 大规格的垫铁。垫铁加工形状见图1。 M42 Q235-B的地脚螺栓,轴向力115000N。查看更多 4个回答 . 1人已关注
SHT 3022-2011 石油化工设备和管道涂料防腐蚀设计规范? SHT 3022-2011 石油化工 设备和 管道涂料 防腐蚀设计规范查看更多 4个回答 . 5人已关注
在燃料油的钒含量一般是多少? 燃料油 的钒含量一般是多少? 有谁知道那家炼厂 加热炉 再用燃料油? 用燃料油需要的注意的事项?谢谢!查看更多 4个回答 . 3人已关注
简介
职业:上海品沃化工有限公司 - 设备维修
学校:河南科技大学 - 自动化
地区:江苏省
个人简介:人在智慧上应当是明豁的,道德上应该是清白的,身体上应该是清洁的。查看更多
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